ArF准分子激光相关论文
193nmArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90nm以下节点半导体量产。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术：主振一功率再......
目的:探讨准分子激光角膜切削术(PRK)矫正角膜放射状切开术(RK)后残留近视及近视散光的有效性和安全性.方法:应用波长193nm的ArF准......
随着科技的不断发展,越来越多的激光技术被应用在医疗设备中.特别是眼科类激光设备层出不穷,对各类眼科疾病的诊断和治疗带来了极......
本文分析了193nm准分子激光对角膜的蚀除机理及其对角膜的蚀除模型.研究在给定光斑参数条件下,所采用的叠加方式,定量地计算准分子......
利用一维流体模型研究了放电泵浦ArF准分子激光动力学过程,得到气体放电过程中放电电路的电流电压波形,得到了电子密度、光子密度......
目的探讨ArF准分子激光对角膜内皮细胞的影响.方法运用ArF准分子激光对15只新西兰白兔(30眼)行不同深度(100、200、300μm)屈光性......
对国内首次研制成功的ArF准分子激光器实现了窄线宽可调谐运转，提出并利用光栅掠入射腔实现了线宽小于 0．020 nm的窄线宽和连续调谐......
集成电路制造业是我国给予高度关注的战略产业之一。随着光刻技术的不断发展，集成电路的集成度越来越高，集成电路的尺寸越来越小，自20......
研究了193 nm ArF准分子激光剥蚀系统高空间分辨率下的仪器检出限、ICP质量负载元素分馏、剥蚀深度/束斑直径元素分馏以及基体效应......
