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光栅耦合型硅基混合集成锗光电探测器设计及制备研究
随着信息传输容量的不断攀升,电互连在速率、功耗、串扰等方面将面临瓶颈。近年来,硅光子学研究取得了突破性进展,为片间乃至片上光互......
学位
硅基光子学
光互连
混合集成
光栅耦合器
BCB键合
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