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GaN具有优异的材料特性,适合制备高频高压大功率器件。GaN器件结构有横向结构器件和垂直结构器件,因为垂直结构的GaN器件具有很多......
利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在......
设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质，采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度，以电荷转移电路为微电容......
智能功率集成电路(SPIC)广泛应用于汽车电子、家用电器和工业控制等领域，SPIC的出现对于实现系统的小型化、智能化、提高系统可靠性......
智能功率集成电路(SPIC)的出现,对于提高系统的可靠性,降低其成本、重量和体积,实现系统的小型化、智能化有着重要的意义。SPIC已......
设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上.片上集成的湿度传感器为叉指电容式......
