CVD金刚石薄膜相关论文
金刚石具有优异的物理和化学性质,如超宽的带隙、化学惰性、超高的硬度和高导热率,是一种新兴的超功能材料。随着科技的不断发展,......
采用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition,简称CVD）技术在石墨表面沉积高性能金刚石薄膜,对于提高石墨的性能具有重要的意义。本......
采用由普通炸药爆轰制备的金刚石纳米粉对光滑硅衬底进行了涂覆预处理，研究了金刚石薄膜经徐覆和研磨预处理的两种衬底上的生长行为......
采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响。研究结果表明,Mo离子注入使......
以CH4和H2为气源，用微波辅助等离子体装置，在10．0mm×7．0mm的砷化镓基底上沉积了CVD金刚石薄膜，用扫描电子显微镜观察沉积效果，拉曼......
研制了用于X射线测量的化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜探测器。该探测器灵敏区直径为15 mm、厚度300μm,其暗电流在800 V偏压下小于50 ......
采用固体三氧化二硼,在硅衬底上用HFCVD法生长金刚石薄膜.对CVD金刚石薄膜的进行了表面形貌和结构进行了研究,并测试了不同硼掺杂......
采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法，对通过热丝CVD方法生长的金刚石薄膜进行了复合抛光处理．并利用X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪（R......
碳化硅作为新型的第三代半导体材料同时在海洋密封材料方面具有广泛的应用。金刚石则具有一系列优异的物理化学性能。以碳化硅为衬......
研究了渗硼预处理对硬质合金YG6刀具上金刚石涂层形核、生长和切削性能的影响。采用扫描电镜观察分析表面形貌，X-射线衍射进行物相......
化学气相沉积（chemical vapor deposition,CVD）金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
学位
采用基于密度泛函理论的第一性原理方法研究CVD金刚石薄膜(001)表面的生长机理。计算清洁金刚石表面和氢(H)终止金刚石表面的构型......
金刚石涂层的粘结性能是影响CVD金刚石薄膜涂层刀具使用寿命的关键因素.本文分别对硬质合金(YG6)表面进行酸蚀去钴和原位脱碳两种......
微细零部件系统是微小尺度范围内综合机、电、液等技术而形成的高新技术产品,广泛应用在绿色能源、信息电子、航空航天、工业生产......
CVD金刚石薄膜具有优异的电学、光学、热学、机械性能和化学稳定性，能够耐高温、耐腐蚀和抗强辐射，成为当前微电子器件在苛刻环境下......
本文对低摩擦系数金刚石薄膜的研究现状和发展趋势进行了综合评述,从低摩擦系数金刚石薄膜的沉积原理和工艺以及金刚石薄膜效应表......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜优异的性能，如极高的硬度、弹性模量、热导率、良好的自润滑性和化学稳定......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及......
CVD金刚石薄膜具有优异的物理和化学性质，在力学、声学、热学以及电子学等领域具有广泛的应用前景。本文采用自行设计的大功率热丝C......
金刚石具有所有物质中最高的弹性模量(E=1200Gpa),材料密度较低(ρ=3.51g/cm3)纵波声速在所有物质中最高,可达到18000m/s,由于其优......
