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F-P腔阵列相关论文
基于MEMS技术的128×128阵列F-P腔可调谐红外滤波器设计与制备研究
红外高光谱成像由于其高光谱分辨率的特点正受到国内外的广泛关注,高光谱成像研究是成像光谱技术领域中的一个前沿的课题。传统的......
学位
高光谱成像
中波红外
MEMS技术
F-P腔阵列
表面微加工
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