InP单晶相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

InP单晶相关论文

LEC法生长高质量6英寸InP单晶

制备大直径单晶是降低器件成本的重要手段之一.对于制备大尺寸半绝缘InP单晶而言,由于其需要在高温高压环境下生长,随着热场尺寸的......

期刊

InP单晶液封直拉(LEC)法温度梯度位错密度平缓放肩工艺

HP-LEC法InP单晶生长的引晶、放肩过程研究

利用自制高压单晶炉内采用高压液封直拉技术(HP-LEC)研究了<100>InP晶体生长过程中引晶和放肩阶段的控制等因素对单晶生长的影响。......

期刊

直径4英寸 InP单晶平放肩孪晶高压液封直拉技术

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