MEMS微针相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

MEMS微针相关论文

基于LIGA技术制作金属微针阵列

MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端。传统LIGA工艺只能制......

期刊

MEMS微针移动LIGA工艺 X射线曝光电镀 PDMS转模

微针的制备与应用研究

MEMS微针是直径为几十微米、长度在100μm以上的针状结构。因为微针的尺寸小，在刺入皮肤中不易触及痛觉神经而产生痛疼感，因此用这种......

学位

MEMS微针空心微针倾斜旋转曝光背面曝光皮肤渗透性硅各向异性刻蚀

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