Motif参数相关论文
针对现有线边缘粗糙度(line edge roughness,LER)表征参数的不足,提出采用基于Motif参数的LER表征方法.对Motif参数的基本概念和评......
表面测量技术应用广泛,在几何量测量领域占有非常重要的地位。表面测量技术的发展,对我国机械制造业有重要意义。近年来,产品几何......