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PN结衬底相关论文
基于PN结的TiO2氧气传感器制备研究
氧气不但是大部分生命生存的必须物质,也是人类很多生产活动的必须物质,因此有必要制备性能良好的氧气传感器来探测氧气的含量,这对人......
学位
氧气传感器
MEMS
PN结衬底
二氧化钛
高灵敏度
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