RF反应溅射法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

RF反应溅射法相关论文

RF反应溅射法制备高度取向生长的透明多晶ZnO薄膜

采用RF反应溅射法在普通玻璃衬底上制备了具有良好c轴取向性的透明多晶ZnO薄膜. 由X射线衍射技术(XRD)分析了样品结构与沉积条件的......

期刊

RF反应溅射法制备取向生长透明多晶ZnO薄膜透过率折射率半导体薄膜 polycrystalline ZnO filmsRF actively spu

看过本文同时还关注