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SIMS定量分析相关论文

重掺砷硅单晶中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象

在用二次离子质谱（SIMS）进行重掺砷硅单晶中痕量硼的定量分析时，有时会出现硅片表面局部区域硼浓度非常高，接近10^16atom／cm^3的现象。......

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痕量硼重掺砷单晶硅 SIMS定量分析硅中氧 trace impurity boron heavily As doped silicon crystal

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