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TSV三维封装内部典型缺陷的特征识别方法研究
随着微电子技术的飞速发展,为了应对现代微电子器件高集成,小型化和高可靠性的封装要求,TSV(硅通孔,Through-Silicon Via,简称TSV)......
学位
TSV三维封装
典型缺陷
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