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a-C∶H(N)薄膜相关论文
电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积法制备a-C∶H(N)薄膜
采用电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积技术,使用CH4和N2混合气作为反应气体,在硅衬底上制备掺氮含氢非晶碳(a-C∶H(N))薄膜.......
期刊
a-C∶H(N)薄膜
电子回旋共振-微波等离子体化学气相沉积
微电子机械系统
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