high-k栅介质相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

high-k栅介质相关论文

MOS器件堆栈栅结构设计、界面及电学性能优化

随着芯片的不断微型化,集成度不断提高,互补型金属氧化物半导体场效应晶体管(CMOSFET)器件已经发展到纳米级,其发展规律一直遵循着......

学位

High-k栅介质 ALD 磁控溅射界面层电学性能

原子层淀积high-k栅介质和扩散阻挡层及其特性研究

随着集成电路特征尺寸在摩尔定律的驱动下不断缩小,许多传统薄膜生长工艺都面临着挑战。而原子层淀积工艺作为一种新兴的薄膜生长......

学位

原子层淀积 high-k栅介质扩散阻挡层密度泛函理论

看过本文同时还关注