p型薄膜硅相关硕士博士期刊学术论文

p型薄膜硅相关论文

首先采用射频等离子体增强化学气相沉积技术制备了电导率为0.13 S/cm、晶化率为50%的p型微晶硅,然后制备了μc-Si∶H(p)/c-Si(n)异......

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