三元薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

三元薄膜相关论文

高k-ZrO基薄膜生长行为及其稳定性的研究

利用高k介电薄膜材料替代传统的SiO2栅介质层是满足发展亚0.1μm以下尺寸的超大规模集成电路的要求，是目前微电子领域的研究热点之......

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物理气相沉积Ti-Si-N纳米复合薄膜生长过程的计算机仿真研究

本课题以Ti、Si、N三种粒子共沉积形成的纳米复合硬质薄膜为研究对象，初步尝试用计算机来模拟在单质Ti薄膜和Ti-Si-N三元薄膜生长过......

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