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焦磷酸盐镀铜层表面镀瘤的去除研究
焦磷酸盐镀铜层表面镀瘤的去除研究
被引量 : 0次 | 上传用户:hotjune
【摘 要】
:
在日常生产过程中,焦磷酸盐镀铜层表面经常会出现微小的镀瘤,这些微小的镀瘤在普通的显微镜下极难观察到,其形状为不规则的半圆球形及半椭球形,尺寸约为直径10μm左右。本文
【作 者】
:
刘洋
张慧
【机 构】
:
南京三乐电子信息产业集团有限公司;
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
焦磷酸盐
镀铜层
镀瘤
化学抛光
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在日常生产过程中,焦磷酸盐镀铜层表面经常会出现微小的镀瘤,这些微小的镀瘤在普通的显微镜下极难观察到,其形状为不规则的半圆球形及半椭球形,尺寸约为直径10μm左右。本文对镀瘤产生的原因进行了研究,并给出了解决方法。
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