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气相沉积是目前较为成熟的工业化薄膜制备技术,在规模化生产上具有良好的设备基础,但是气相沉积的钙钛矿薄膜质量还有待进一步提升。而另一方面。提升钙钛矿薄膜质量的钝化材料(或者元素)也必须通过气相方法掺入,因此可用的钝化材料(或者元素)十分有限。与溶液法有所不同,气相沉积钙钛矿薄膜过程中伴随着物理吸附和解吸附、化学生成与分解等过程,这些过程相生相伴。本工作细致调控相关条件,使得钙钛矿薄膜在动态平衡中实现可控生长。研究表明:一定量的Cs元素可以辅助有机基团(甲胺或甲脒)吸附,也更易实现稳定黑相的薄膜;而Cl元素可以提升薄膜质量。