Ti掺杂纳米复合类金刚石涂层的摩擦磨损和抗水蚀性能的研究

来源 :2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：addfwegh

【摘要】

：

利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能

【作者】

：

黄志宏杨兵刘传胜郭立平范湘军付德君

【机构】

：

武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,湖北,武汉,430072

【出处】

：

2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议

【发表日期】

：

2006年10期

【关键词】

：

类金刚石纳米复合涂层中频磁控溅射摩擦磨损水蚀

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利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能的影响,结果表明在100V偏压,Ti靶电流4A时制得的Ti-DLC复合涂层有良好的附着力和很高的硬度,优良的摩擦磨损性能和抗水蚀性.

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