论文部分内容阅读
本研究采用具有较高相对密度(97％以上)的ITO靶材作样品,进行磁控溅射毒化实验;利用X-射线衍射(XRD)、X-射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线能量色散谱仪(EDS)等表征检测手段分别对比了ITO靶材样品在溅射前后ITO靶材的微观组织、物相变化、元素分布,以及对结瘤状态与原因进行了分析研究.结果表明:靶材毒化的主要与靶材中的孔洞及ITO靶材的晶粒大小密切相关.