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为了探究金属特征X射线空间角分布,采用蒙特卡罗（Monte Carlo）方法模拟238Pu源照射金属样品激发特征X射线过程,通过改变放射源的入射角度和改变金属样品的形状,得到不同条件下特征X射线的角分布,结合实验数据,得出结论:金属特征X射线角分布与源的入射角度无关;从激发点向外呈各向同性发射;由于样品有厚度存在自吸收,探测器接收到的特征X射线在样品表面被照射点处的正法线方向上最多,在正法线两侧呈对称式递减。