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<正>基于相分离原理,通过重复甩胶镀膜—热处理工艺,在导电氧化物镍酸镧涂布的硅衬底上制备了厚度为2 μm,由致密层和多孔层交替排列形成的周期性锆钛酸铅(PZT)铁电多层膜,并对多层膜的铁电和介电特性进行了研究。同生长在相同衬底上的均匀相 PZT 薄膜材料相比,非均一相 PZT
锆钛酸铅多层膜的铁电和介电特性研究
【摘 要】
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<正>基于相分离原理,通过重复甩胶镀膜—热处理工艺,在导电氧化物镍酸镧涂布的硅衬底上制备了厚度为2 μm,由致密层和多孔层交替排列形成的周期性锆钛酸铅(PZT)铁电多层膜,并
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金(60578058，10334030，60221502);国家杰出青年基金(60225004);上海市科技专项(0452nm085)
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