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提出一种用于测量微结构表面形貌的离轴显微干涉术。该技术的实验装置为一优化的马赫曾德干涉仪。其特点为参考波是具有一定载频的倾斜波。在此技术中，应用CCD 记录离轴显微干涉图，并用傅里叶变换方法对记录的干涉图在傅里叶面进行频谱滤波求解相位。不同于经典显微干涉术，离轴显微干涉图的载频较高，仅需单幅干涉图即可得到相位信息。