显微干涉术相关论文
提出一种用于测量微结构表面形貌的离轴显微干涉术。该技术的实验装置为一优化的马赫曾德干涉仪。其特点为参考波是具有一定载......
显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法，其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度．对MEMS测量系统中使用的压电陶......
基于相移干涉术,研制了一台立式大视场Mirau相移显微干涉仪。显微干涉仪包括干涉成像和照明部分,竖直方向上的压电陶瓷微位移系统,......
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为科学研究与产品开发中的各个环节提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件三维运动特性的......
基于相移干涉术，研制了立式大视场Mirau相移显微干涉仪，它包括干涉成像和照明系统、竖直方向上的压电陶瓷传感器（PZT）微位移系统、被测......
