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纳米级的光刻机需要考虑噪声振动的影响,工件台和掩膜台刚体运动产生的噪声可能会对光刻机动态性能指标产生影响。运动台大位移运动使光刻机内部声腔及声源位置随时间变化,为典型的非线性现象。本文通过动网格模拟这种非线性现象,并通过将声场和结构场耦合,计算运动台刚体运动噪声声对结构的振动响应。
运动台声致振动仿真研究
【摘 要】
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纳米级的光刻机需要考虑噪声振动的影响,工件台和掩膜台刚体运动产生的噪声可能会对光刻机动态性能指标产生影响。运动台大位移运动使光刻机内部声腔及声源位置随时间变化,为
【机 构】
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上海微电子装备工程技术研究中心;
【发表日期】
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2013年期
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