切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备
氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备
来源 :第四届冶金工程科学论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baichuan817
【摘 要】
:
用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7%的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,
【作 者】
:
刘斌
马瑞新
邵伟
高贵华
【机 构】
:
北京科技大学
【出 处】
:
第四届冶金工程科学论坛
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
氧化锌铝薄膜
溅射靶材
沉淀法制备
射频磁控溅射法
平均透过率
择优取向
相对密度
冷等静压
常压烧结
玻璃基体
表面制备
铝粉末
可见光
分析表
化学
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7%的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,所制备的薄膜具有(002)面的单一择优取向,可见光平均透过率高于80%。
其他文献
其他学术论文