氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备

来源 :第四届冶金工程科学论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baichuan817
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用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7%的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,所制备的薄膜具有(002)面的单一择优取向,可见光平均透过率高于80%。
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