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用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7％的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,所制备的薄膜具有(002)面的单一择优取向,可见光平均透过率高于80％。
氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备
【摘 要】
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用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7％的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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第四届冶金工程科学论坛
【发表日期】
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2005年期
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