【摘 要】
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随着新基建、人工智能等新一代信息技术的发展,面对新形势下的大国博弈,以集成电路为代表的泛半导体产业备受关注。支撑泛半导体产业发展的核心装备更是关注的重点,其中多数
【机 构】
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中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;
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随着新基建、人工智能等新一代信息技术的发展,面对新形势下的大国博弈,以集成电路为代表的泛半导体产业备受关注。支撑泛半导体产业发展的核心装备更是关注的重点,其中多数核心装备功能的实现与真空技术密不可分,真空技术的优劣是装备性能好坏的决定性因素之一。围绕泛半导体领域的不同特点对真空零部件提出了不同的需求,体现核心技术的真空零部件在产业发展中发挥重要的作用。通过分析以真空零部件为主的泛半导体产业零部件的现状,思考我国泛半导体产业真空零部件的发展途径和思路,只有通过加强上下游协同、自主创新,加快大有可为的真空零部件自主可控和可持续发展,才能实现产业共赢。
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