【摘 要】
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高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器的有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在热蒸发真空镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,用轮
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高反膜的抗激光损伤特性严重影响着激光系统中激光器的有效输出功率的提高。因此提高高反膜的抗激光损伤特性就成为了关键。在热蒸发真空镀膜机中采用阻蒸发法制备Ag膜,用轮廓仪测试薄膜厚度,在激光损伤测试仪上测试薄膜的抗激光损伤阈值。分析烘烤温度和膜层厚度等制备工艺对金属膜的光学特性和抗激光能力的影响,不同工艺制备的金属膜经激光损伤后的薄膜表面形貌和损伤特性的变化,明确金属膜的损伤过程以及特性变化。研究结果表明:采用阻蒸法制备的单层Ag膜,在镀制过程中采取不同的烘烤温度,到达150℃时,薄膜在1000nm-1400nm波段的平均反射率达到了99.07%,相比不加烘烤提高了0.6%,此时银膜的激光损伤阈值为1.4J/cm2。
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