【摘 要】
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该论文题目来源于国防科工委.该文叙述了MOCVD控制系统的设计与实现.在对MOCVD工艺了解的基础上,用工控机和PLC建立了一个集散控制系统以达到控制工艺的目的,完成了MOCVD设备
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该论文题目来源于国防科工委.该文叙述了MOCVD控制系统的设计与实现.在对MOCVD工艺了解的基础上,用工控机和PLC建立了一个集散控制系统以达到控制工艺的目的,完成了MOCVD设备的设计任务.其中,硬件部分主要设计了一个PLC系统,用于控制工艺现场,完成系统的数据采集和处理任务.软件部分包括在上位机用组态软件设计系统的监控界面,用以监控系统的运行状况,以及温控器与上位机的串口通讯程序的实现.温度控制部分,首先在手动控制的界面上进行了人工控制温度的实验,获得了温度与设定电压的近似关系曲线图;然后在研究模型控制理论的基础上,对工业控制中常用的温度控制算法进行了仿真,总结了参数调节规律,为设计温度自控程序提供理论参考;最后依据温度手动控制与自动控制的关系以及配方中对温度控制的爬升要求,设计了温度控制流程图.
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