氧化锌是一种重要的宽带隙半导体材料,纳米相的氧化锌由于其显著的物理化学性质,在如气体传感器、压敏电阻等众多领域中有大量应用。在氧化锌纳米微粒中掺杂金属元素具有重要意义。本文采用超声喷雾热分解技术,用硝酸锌、硝酸镁、脲素和硝酸铵制成不同的前躯体溶液,用喷雾热分解方法制备出了氧化锌和氧化锌掺镁的微米级粉体材料,通过研钵研磨使微米级粉体材料细化为纳米级粉体材料。采用扫描电镜、透射电镜、X-射线衍射谱、紫外-可见吸收光谱等分析手段对样品进行了表征。研究发现通过喷雾热分解方法制备得到的是六方纤锌矿的氧化锌,氧化锌颗粒是破损的、多孔隙的、空心类球形颗粒,用研钵研磨后形成粒状体的纳米颗粒。通过调整前驱体溶液浓度、尿素含量、硝酸铵含量、加热温度等反应条件能调控颗粒的颗粒度和形态。在脲素含量1.26mol/L、硝酸铵含量为1.68mol/L时,纳米微粒颗粒的尺寸达范围是5nm-29nm。