氧碘化学激光器（简称COIL）经历了二十多年的研究获得了巨大成功。因为其高能量和低光纤传输损耗等特点,使其在工业上有广阔的前景。通过氯气与碱性过氧化氢溶液（简称BHP 溶液）反应生成储能粒子O₂（1^△_g）（简称SDO）的气体中含有水,气体中的水对出光介质激发态碘原子的猝灭很严重,阻碍了整体化学效率的提高。因此需要寻求一种不含水的产生SDO 的方法。气体放电产生SDO 是解决该问题的一个途径。气体放电的优点在于不含水、全部为气相反应和可以长时间运转工作。本文以电激励SDO 发生器作为研究对象,重点研究了射频电容耦合放电的射频输入功率、放电压力和气体流速等对生成SDO 的影响。建立了氧等离子体化学动力学模型,从理论模拟方面在国际上首次研究了电子平均能量、电子浓度和放电气体压力对生成SDO 的影响,给出了适合于生成SDO 的放电参量条件。纯氧放电条件下,放电气体压力在200Pa～400Pa 和气体流量在0.37～1.48mmol/s 时,得到的实验结果表明:SDO 产率是随着射频输入功率的提高而增大的。当气体压力降低时,SDO 产率是升高的。当保持气体压力和射频输入功率不变时,SDO 随气体流速的增大而增大,最终达到一个稳定值。通过测量SDO 的自发辐射光谱得到的SDO 产率的最大值为10.6±2.2%。为了减小SDO 的猝灭,在放电室后加入了氦气和氩气等惰性气体。在氧气流量和气体压力不变的条件下,加入的氩气等惰性气体降低了氧气分压,提高SDO 产率,可以提高约30～40%,达到了14%。基于化学反应动力学原理建立了等离子体化学模型,计算了电子平均能量、电子浓度、气体压力和气体流量对生成SDO 的影响。模型中包含了电子与中性粒子及中性粒子之间的碰撞过程。计算结果表明,电子平均能量应小于2.5eV。电子浓度应在1×1012～1×10¹³molecules/cm³。在生成SDO 的最佳放电条件下,气体压力对SDO 产率的影响不大。