随着液压机械在工业生产中的广泛应用,油液检测技术在其故障预测和诊断方面起着越来越重要的作用。油液里面的金属颗粒污染物是油液检测的重要项目,而现在还不能对油液中常见的金属颗粒进行检测计数,更不能进行区分计数,所以对故障预测和诊断有一定的局限性。本文首先介绍了液压油污染物的来源及危害,油液分析对故障诊断和预测的重要性,现有油液检测的主要方法及其优缺点,各种颗粒检测的主要原理及其局限性。然后分析了金属颗粒检测计数的原理,以及金属颗粒检测的主要应用。接下来通过实验研究来设计制作高灵敏度的检测芯片。实验主要分为三个阶段：(1)静态实验。实验目的是主要测定一些基本参数对检测灵敏度的影响。这些参数包括电感类型、激励频率、激励电压、距离、位置等,并用同一电感对不同大小不同性质的金属颗粒进行检测分析,总结规律。(2)检测芯片的设计及制作优化。首先依据油液检测的实际应用和第一阶段实验结果,提出对检测芯片的要求,然后根据要求设计出检测芯片的结构及选材,接下来用微加工技术制作了检测芯片并对检测芯片进行测试优化。(3)通过第一阶段的实验结论知道电感线圈和平面电感具有较高的变化率,然后以检测芯片为基础,研究电感线圈和平面电感的基本参数,这些参数包括匝数、层数、制作电感漆包线直径和线圈内径等,通过对实验研究结果的分析,制作出了具有较高精度的检测芯片,其实现了对19μm的铁质颗粒和40μm的铜质颗粒进行检测。