论文部分内容阅读
动压气浮轴承陀螺马达是陀螺仪表的心脏,被广泛应用于各种惯性仪器、仪表当中。气浮轴承的气膜刚度代表其承载能力,是衡量气浮轴承质量的一项重要指标。研究气浮轴承动态刚度的大小和变化,对提高陀螺仪表精度和可靠性具有重要意义。动压气浮轴承的刚度主要是由轴承运转时的气膜厚度计算得出,也就是说刚度测量实质上就是气膜厚度测量。气膜厚度一般是微米量级,所以要求测量仪器的分辨率要达到纳米级。非接触式电容测微技术具有动态响应快、温度稳定性好、精度高、系统固有频率高等特点,成为测量气膜厚度的一种重要选择。目前,