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在微机电系统(MEMS)装置设计方面，一种很重要的方法被称为静电驱动。它是在一个电控可调电容器上进行研究，使用两个基本物理原理：静电库仑定律和弹性形变关系。本文介绍了静电驱动的质量弹簧模型，和更一般的静电驱动结构-静电弹性系统。本文主要讨论了带有Navier边界条件的静态平衡方程该方程模拟了一个简单的MEMS系统中的静电驱动装置，研究了该装置中带电极板在固定边界条件下的偏转情形。本文详细的介绍了静电驱动的数学模型，及其相应方程的推导过程；讨论了(P_λ)在D=0，χ=0；D=0，