微电子行业在国家发展中越来越重要,在信息化时代下,微电子技术对人类生产、生活都带来了极大的影响。从本质上来看,微电子技术的核心在于其集成电路芯片的制造。随着电路芯片越来越微型化,精密制造即精密和超精密加工技术的需求也就越来越迫切。精密和超精密加工技术离不开微定位技术。微定位技术的实现,依赖的支撑技术主要包括:微位移驱动器、微位移执行机构、位移测量和控制方法。其中微位移驱动是微定位平台的关键部分。本文结合课题组高速精密运动创新团队当前的研究进展以及在研究过程中遇到的实际问题,立足本课题组实际,并放眼如今精密制造领域中在微位移执行机构开发过程中,遇到的微位移驱动器选型时对其动态性能的需求以及与不同刚度和频率柔性铰链平台的匹配问题,进行深入研究。以Akribis（雅科贝思）的AVM系列音圈电机为切入点,对音圈电机的动态性能进行测试研究。为不同频率和刚度的柔性铰链平台在设计之初选择与其动态性能匹配的音圈电机提供依据。此外,为了实现大范围的刚度频率调整,采用移动支撑对柔性铰链的刚度进行调节,并提出了一种基于柔性铰链的夹紧力调节与支撑装置。首先,本文论述了精密定位技术中,微定位平台的研究背景和意义,以此提出了微定位平台设计过程中选取合适微位移驱动器所面临的问题和困扰。并给出了本文的解决方案。其次,基于发明专利《刚度可调音圈电机带载测试平台》^[1]提出了一种频率和刚度可调的音圈电机带载测试平台的结构设计方案。通过Creo三维建模软件对上述方案平台进行结构设计。选用并确定平台设计的材料型号,对平台各零部件进行工作原理计算和分析,使用梁模型计算平台的工作刚度和工作频率,通过Ansys Workbench对测试平台主体部分进行静力学与动力学分析,验证等效模型的正确性。同时,按照上述同样的设计分析思路,设计了一款基于柔性铰链的夹紧力调节与支撑装置,可以实现对柔性铰链平台刚度进行大范围连续性调节。然后,简单介绍了系统频率特性测试的原理,结合此原理,应用调频脉冲扫频信号和快速傅里叶变换的数据分析相结合的方法,以及前文推导出理想的音圈电机传递函数对系统进行仿真分析,验证了本文设计思路的合理性。最后,组装并搭建刚度可调音圈电机带载测试平台的实物平台系统,调节测试平台,使其拥有不同的刚度和频率,通过实验测试,得出音圈电机在不同刚度和频率下的动态特性曲线。基于以上开发出了一套用于测试音圈电机动态特性的系统。