氮化镓粉末和薄膜的制备、结构和特性研究

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本文主要研究用氮化法制备GaN粉末和在St(111)和石英衬底上直接溅射GaN薄膜,给出了两种方法制备GAN样品的实验过程,较系统地研究了粉末和薄膜的结构、组分,表面形貌和发光特性,并且探讨了GaN材料的生长机制。另外,由子GaN材料的稳定性对其在实际应用中的寿命和效率有着极其重要的影响,因此对GaN材料的稳定性进行了较为系统地研究。
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