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原子力显微镜（AFM）目前已经成为纳米科学领域重要的研究工具，已在表面科学、材料科学、表面化学、电化学、生物学、计量学等学科得到广泛的应用。由于其基本的工作原理是依据锋利的针尖与样品表面原子量级载荷的相互作用，来测量表面的纳米量级高低变化，而尖锐的针尖就会在扫描中产生一定量的磨损。这种磨损的发生，不但使得针尖的测量分辨率下降，而且还会给测量实验的结果带来误差。因此，控制针尖在扫描工作中的磨损量、研究磨损的评价方法以及磨损对表面测量的影响就显得尤为重要。本论文就围绕这三方面进行研究和分析。首先