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太阳能电池一直朝着高效率和低成本的方向发展,其中,晶硅太阳能电池一直占据着光伏市场主要份额。光学损失和电学损失是限制太阳能电池效率的主要因素。对于单晶硅而言,通常采用碱的各向异性刻蚀制备正金字塔结构来降低表面反射率,而倒金字塔结构由于具有更加优异的光学和电学特性被广泛应用于高效太阳能电池当中。但是,目前倒金字塔结构的制备通常需要复杂的工艺,包括光刻、激光等技术,不适用于太阳能电池的产业化。我们组采用了一步法铜催化刻蚀法制备了大面积的倒金字塔结构,对比工业化生产的正金字塔结构具有工艺简单、成本较低等优