20世纪后期以来，高新技术产业在高投入、高回报、技术密集、资源密集等特征下迅速发展，已经成长为一个可以体现国家科技水平的重要产业，并逐渐成为国民经济发展的新增长点。技术效率关系到某个产业或企业的生存能力及发展机遇，可以有效的促进地区或产业的经济增长。北京作为首都，在享受科技资源投入、政府支持等优势的同时，也担负着为国家经济发展贡献力量的重要任务，运用合理的方法对北京高新技术产业技术效率进行分析显得尤为重要。本论文通过对国内外现有效率评价方法的归纳总结，选取三阶段DEA模型，对北京及全国27个省份的高新技术产业技术效率进行了测算，在此基础上对北京高新技术产业内部五大行业的技术效率进行研究，并将其与全国其他各省份进行比较分析。本论文所用三阶段模型结合了传统DEA和SFA方法的优势，利用对技术效率投入冗余及环境指标的回归分析，分析了环境变量对投入冗余的具体影响，并进行了适当的调整，将高新技术产业各省市、北京各行业的技术效率置于相同的平台下，使得结果更加客观有效。通过行业比较，对五大行业技术效率的数值和差异进行分析，本文发现北京高新技术产业总体技术效率值较高，但仍没达到效率前沿，五大行业各具特点，发展不平衡；通过省份间的比较，对北京与全国其他省市的技术效率进行区域差异分析，本研究发现北京在全国高新技术产业中位于前列，高出平均水平很大一截，但还没有达到第一的位置，近几年增速缓慢且出现偶尔的下降，值得引起足够的重视。最后，本文从劳动力素质，所有制结构，市场竞争程度，政府支持力度及产业技术创新五个方面确定了北京高新技术产业技术效率的影响因素，并进行了具体分析，在此基础上有针对性地提出对策建议，这对北京政府有效制定高新技术产业发展政策、合理配置资源、进一步增加北京高新技术产业科技实力和更好地促进经济增长都具有实际意义。