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微纳驱动技术作为纳米操作系统的关键技术之一,在显微系统、医疗科学、集成电路制造等众多领域中都得到了广泛的应用。然而在例如扫描探针显微镜等显微装置中,不仅需要在有限的操作空间内实现高精度定位和操作,同时也要求有更大的操作范围,这就对微纳驱动技术的驱动方法和结构类型提出了新的挑战。本文提出了一种新型的基于粘滑驱动的小型精密定位平台,并对其中的关键技术进行研究。首先在粘滑驱动机理及运动特性研究方面。本文从粘滑驱动的工作原理入手,分析粘滑驱动的运动过程,并通过简化模型的方式建立了粘滑驱动运动学模型。基于该模