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在现代激光技术的应用发展中,激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、卫星等精密光学系统对先进光学元件都有极大的需求,且对光学元件表面质量的要求也越来越高。大量研究表明光学元件表面质量会对整个光学系统造成巨大的影响。高质量的光学元件不仅需要先进的制造技术,更需要合理的检测手段保证表面误差在一定的范围内,使其满足性能要求,这是尤为重要的。由于光学表面传统评价方法存在诸多不足,文章基于光学表面的分形结构,提出将分形理论运用于表面误差评价,并建立抛光工艺参数与分形维数的响应模型。本文针对光学表面误差评