TiAlN/CrAlN纳米多层膜的制备及结构表征

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【摘要】

：

近几十年来,陶瓷薄膜涂层的发展非常迅速,由于其高硬度、耐高温、耐磨擦等性能被广泛应用于刀具和模具。TiAlN/CrAlN多层周期膜的结构是TiAl N膜层和CrAl N膜层在垂直于薄膜表面的方向上交替沉积形成的纳米多层膜。TiAl N涂层具有较高的热稳定性,CrAlN具有较好的抗氧化性,使得TiAlN/CrAlN薄膜在1000℃时仍具有较高的硬度。以往对TiAlN/CrAlN薄膜研究主要集中在提高

【作者】

：

王敏鹏

【机构】

：

沈阳理工大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

磁控溅射 TiAlN/CrAlN TiN/CrN SLD 界面粗糙度

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