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在显微测量领域，对微观物体形貌及结构的准确检测逐渐成为现代科技的关注点之一。同时伴随着半导体技术、生命医学技术和量子技术的迅速发展，对超精密加工和微结构检测的需求越来越多，寻找一种能够简化系统的复杂结构，并且具有高效率、高分辨力特性的测量途径已经成为当前亟待解决的问题之一。本课题“双折射光瞳滤波式差动共焦显微系统特性研究”的研究目的是解决共焦显微测量的三维高分辨力的问题。在研究共焦显微测量原理和双折射滤波理论的基础上，将二者结合，并且将差动共焦引入到双折射光瞳滤波式共焦系统中，实现三维高分辨