【摘 要】
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该文首先对传统的干涉图位相检测技术进行了总结,分析了干涉图的位相检测方法,在总结位相检测方法的同时也分析了它的局限性(相邻两点的高度差小于1/2λ)并结合课题的研究需
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该文首先对传统的干涉图位相检测技术进行了总结,分析了干涉图的位相检测方法,在总结位相检测方法的同时也分析了它的局限性(相邻两点的高度差小于1/2λ)并结合课题的研究需要采用白光扫描干涉法.它主要是利用白光的干涉特性,通过扫描来寻找最佳干涉位置的方法,从而有效克服了单色光检测的局限性.论文主要对常用的白光算法,包括条纹扫描法,条纹调制度法,空间频域算法,移相算法,频谱展开法等算法进行了分析和计算,并对条纹扫描法和空间频域算法进行了较全面、深入的计算机模拟.其次是干涉仪硬件研制,选用国产6JA型干涉显微镜作为主体,并设计PZT移相部件及图像接收系统,从而实现了白光扫描的自动测量.论文设计了仪器的软件部分,主要包括灰度图像数据的采集,PZT驱动电压的控制,白光扫描算法的程序实现,最终数据结果的图形输出等,论文最后检测了台阶物体,并将其结果和ZYGO公司的测试结果进行了对比.
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