【摘 要】
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针对当前半导体激光器在光存储系统、光通讯系统和泵浦固体激光器等领域对基横模工作的应用需求,本文设计了一种具有高光束质量、高光纤耦合效率等特点的基横模1.55gm InP基
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针对当前半导体激光器在光存储系统、光通讯系统和泵浦固体激光器等领域对基横模工作的应用需求,本文设计了一种具有高光束质量、高光纤耦合效率等特点的基横模1.55gm InP基半导体激光器。本文设计并优化了基横模1.55μm半导体激光器结构,分析了半导体激光器的模式特性。根据理论分析,提出了用脊型波导结构,InGaAsP/InP材料体系的激光器结构方案,并对其进行了基横模模式特性验证分析及其相关工艺实验研究。设计出的基横模1.55μm半导体激光器采用脊型波导结构,脊宽为4μm、刻蚀深度为0.6μm,量子阱有源区为3个厚度75A的InGaAsP材料,实现了在基横模工作下最大输出功率超过100mW的输出特性。根据所设计的激光器器件结构,制作出1.55μm半导体激光器器件,当腔长为800μm时,注入电流为280mA,输出功率可达32mW,阈值电流为30mA左右。
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