本论文利用了ELID(Electrolytic In-Process Dressing,ELID)方法,对蓝宝石进行塑性磨削研究,同时对青龙玉,微晶玻璃等不同硬度材料进行ELID磨削研究。实验采用了GM73-Ⅲ型超精密平面磨床,铸铁基短纤维结合剂金刚石砂轮(粒度为W5),配合在线电解修整,通过调整砂轮单位进给量和砂轮转速,实现了对蓝宝石的塑性切削;并通过对青龙玉,微晶玻璃等脆性材料的ELID磨削,研究了单位进给量和砂轮转速对表面粗糙度的影响。利用表面光度仪(XP-2TM)、原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)和偏光显微镜(DMRXP)分别对蓝宝石加工表面轮廓、表面形貌和表面加工缺陷进行了分析。并采用X射线衍射小角度掠入射的方法,对蓝宝石加工表面变质层进行了研究。研究结果表明,本实验中,用ELID方法对蓝宝石进行磨削,表面粗糙度值随单位进给量增大而增大,随砂轮转速增大呈先降低后升高的趋势;蓝宝石磨削有脆性断裂和塑性切削两种模式;当单位进给量为1μm,砂轮转速为1900 rpm时,蓝宝石处于塑性域磨削,得到表面粗糙度值为3.2 nm。利用ELID方法,与传统磨削抛光相比,大大减少了蓝宝石材料表面的加工缺陷,实现了以磨代抛,提高了加工效率,蓝宝石加工表面变质层厚度仅为2.33μm,满足了蓝宝石基片作为功能材料的精度要求和光学要求。本实验用ELID方法磨削不同硬度的脆性材料,均满足表面粗糙度随砂轮转速增加而先降低后增大的趋势,且最低表面粗糙度对应的砂轮转速随材料硬度增大而降低。