超声波电机是利用压电陶瓷的逆压电效应使定子表面的质点产生超声振动,利用定、转子之间的摩擦材料实现能量转换。这种独特的工作原理使其具备结构简单、断电自锁和低速大转矩等特点,在家用电子、微机器人、航天领域有着广泛的应用前景。本文提出一种新型双层圆盘超声波电机结构,利用ANSYS有限元仿真软件对其结构模型进行仿真,得到模态分析图、谐响应分析图和瞬态分析图,确定其共振频率和位移放大率,并将其作为评价超声波电机性能的标准。本文设计了一种输入为12V的直流电压信号,输出幅值为141V、相位相差90度的PWM信号驱动电路。该电路通过电位计来调节输入信号的占空比,实现了输出电压幅值可调的目的。进一步提高了驱动电路的控制性能,拓展了控制电路的适用范围。本文制作了双层圆盘惯性超声波电机样机,并且通过增量式编码器对30超声波电机转速进行测量,得到电机的转速特性表。