大型蓝宝石晶体生长设备热场的设计及其研究

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蓝宝石是一种简单的氧化物晶体,具备优良的热学、机械和光学性能,适合在高温条件下工作。它作为一种重要的技术晶体,已被广泛地应用于科学技术、国防和民用工业、电子技术等诸多领域。近年来,随着科学技术的快速发展,对蓝宝石晶体材料的尺寸、质量提出了更高的要求,所以研究低成本、高品质的大型蓝宝石晶体生长设备已成为当前面临的重要任务。  本文在30kg、60kg泡生法蓝宝石晶体生长设备的基础上,结合国内外大型蓝宝石晶体生长设备的设计经验,从热场设计中应注意的问题和容易造成晶体缺陷的原因入手,最终完成了90kg泡生法大型蓝宝石晶体生长设备热场和炉体部分的设计,并进行三维实体建模。根据晶体生长学原理和传热学的基础理论,建立晶体生长的物理、数学理论模型和热边界条件;并对晶体生长过程中晶体缺陷的引入原因和形成机理进行研究分析,并提出有效的控制改进措施。  根据热场模拟分析的一般步骤和实际情况,对实体模型和模拟分析参数,进行合理的简化;基于ANSYS Workbench对简化后的模型进行数值模拟;分析结果显示,设计的90kg泡生法大型蓝宝石晶体生长设备热场的温度变化趋势与30kg、60kg级设备热场的温度变化趋势基本一致,温度梯度也在合理的变化范围之内。最后,运用控制变量法,研究分析工艺参数对晶体生长的影响,并得出在不同工艺参数下晶体的温度变化情况;通过分析发现,合理的降低系统加热温度和增大对流换热系数,可以促进晶体稳定、快速的生长。
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