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基于CAN总线的多点液压同步系统研究与实现
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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东南大学
【发表日期】
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2013年期
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现代制造业的快速发展对测量技术的自动化和智能化程度的要求不断提高。机器视觉具有非接触、精度高、速度快、灵活、信息丰富等优点,在产品的质量检测、机械加工、目标追踪
本文采用金属Zr靶和CuO陶瓷靶，利用磁控溅射法制备了Zr薄膜和CuO薄膜，研究了不同工艺条件对薄膜质量性能和制备薄膜的沉积速率的影响，得到了Zr薄膜和CuO薄膜的最佳制备工艺条件。利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱分析(EDS)、X射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜的微观形貌、成分和相组成进行了研究，结果表明制备的薄膜光滑致密，成分和靶材基本一致，薄膜均为晶相结构。在最佳工艺条件下制备了Zr薄