垂直耦合腔面发射激光器激射波长与阈值特性研究

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垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)是当前光电子学领域最活跃的研究课题之一。它与传统的端面发射半导体激光器(EEL)相比,具有阈值电流低、输出光束发散角小、易与光纤耦合、易实现单纵模工作、易形成高密度二维阵列等优点,在光纤通信、光信息处理、激光打印、光传感等领域有着广泛的应用前景。垂直耦合腔面发射半导体激光器(CC-VCSEL)继承了VCSEL的诸多优点,同时能够很好的满足光波分复用、THz频率发生器、双波长干涉测量等技术对双波长发光器件的特殊要求,因此也越来越受重视。CC-VCSEL可以实现双波长光输出,且波长间隔可以通过调整中间DBR膜层对数及双腔腔长失调比率来控制。本文第一部分从CC-VCSEL的内部结构出发,建立起关于整个CC-VCSEL的传输矩阵模型,并利用传输矩阵法计算出固定载流子浓度下CC-VCSEL的激射波长;然后分析了中间DBR膜层对数、双腔腔长失调比率及量子阱载流子浓度对输出波长间隔的影响。计算结果表明在双腔腔长相同的情况下,以940nm为中心的波长间隔范围可达到0.6nm~58nm。由于CC-VCSEL由两个独立的注入电流进行泵浦,存在双波长输出模式,可工作在四种激射状态,因此它的阈值电流比较复杂。本文第二部分首先利用传输矩阵法通过分析增益来确定CC-VCSEL达到阈值的条件,通过数值计算得到了CC-VCSEL的阈值载流子浓度,然后与CC-VCSEL稳态载流子速率方程相结合,得到了CC-VCSEL的阈值电流曲线,并讨论了阈值电流与激射状态之间的关系。
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